噴膠機是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設(shè)備，可對不同尺寸和形狀的基片進行涂膠，最大涂膠尺寸達8寸，得到厚度均勻的光刻膠層，同時可對大深寬比結(jié)構(gòu)的側(cè)壁進行均勻涂膠；通過計算機系統(tǒng)控制器進行工藝參數(shù)的編輯和操作。

1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8寸。 　
　
2.可對不同粘度的膠進行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。 　　

3.噴膠機可對大深寬比結(jié)構(gòu)進行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
　　
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。
　　
5.計算機系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。 　　

6.可手動卸載基片。 　　

7.噴膠室易清洗。 　　

8.供膠流速和流量可編程。 　
　
9.噴膠機供膠回吸量可調(diào)節(jié)。 　　

10.適用于所有光刻膠和聚合物。 　
　
11.具有自動針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測量膠量，并具有膠液回吸功能。 　
　
12.基片可對準。

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